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新山半导体与先进制造业:EIA、含氟排污与高压供电合规准入指南

柔佛半导体晶圆厂、先进封装与精密基板厂的合规准入指南——涵盖第二附表 EIA、含氟与混酸工业排污标准 A/B 限值、废酸与含氟污泥特种废物处置,以及 22kV 高压 TNB 供电接入与电能质量限值,并附官方法规出处。

选址定位与产业链分布

随着全球半导体价值链的重构,新山的士乃(Senai)、古来(Kulai)以及依斯干达公主城(Iskandar Puteri)已被定位为先进半导体封装、精密晶圆测试与高科技元件制造的战略核心。该行业属于 JS-SEZ 重点推动的制造业与绿色经济领域。半导体制造具有极高的电力负荷需求,且在蚀刻、清洗与光刻工艺中会使用大量强酸、强碱及含氟化学品,在合规与准入层面属于全马来西亚最严苛的标准之一。

环保与环境影响评估(EIA)法定流程

由于化学品使用量大、潜在环境风险较高,半导体晶圆厂、大规模先进芯片封装及高精密电子基板制造,在《1974 年环境质量法》(Act 127)第 34A 条所授权的《2015 年环境质量(指定活动)(环境影响评估)命令》下,通常被划定为「第二附表」(Second Schedule)项目。项目倡议人须委托高资质的合格环境顾问编制详尽的 EIA 报告,并呈交至马来西亚环境部(DOE)总部进行专家委员会审查。此类项目必须进行为期 30 天的公众展示以收集周边社区反馈,并须在获得 DOE 书面 EIA 批准后方可动工。

工业污水与排污合规(IETS)指标

半导体工艺产生的废水富含氟化物、混合酸(如氢氟酸、硫酸、硝酸)以及微量镍、铬等重金属,受《2009 年环境质量(工业废水)规例》[P.U.(A) 434/2009] 规管。工厂须运行高度精密的工业废水处理系统(IETS),采用分流中和与分级沉淀工艺,氟化物通常以氟化钙形式去除。若排污口位于国家划定集水区上游,适用「标准 A」;否则适用「标准 B」。当废水中同时含有两种或以上所列重金属时,规例第 11 条另对其总浓度设限,对末端多金属协同沉淀提出更高要求。

参数标准 A标准 B
氟化物 (F⁻)2.0 mg/L5.0 mg/L
镍 (Ni)0.20 mg/L1.0 mg/L
三价铬 (Cr³⁺)0.20 mg/L1.0 mg/L
化学需氧量 (COD)80 mg/L200 mg/L

《2009 年环境质量(工业废水)规例》[P.U.(A) 434/2009] 第五附表。

特种与有害废物(Scheduled Wastes)处置要求

半导体厂会产生高酸碱性、高毒性的复杂废液与处理污泥,受《2005 年环境质量(特种废物)规例》[P.U.(A) 294/2005] 规管。此类废物须存放于防腐蚀、防渗漏的专用容器中,并储存于具备双重围堤(Bund Wall)及防爆通风系统的专用库房。现场储存自产生之日起不得超过 180 天,未经环境部书面批准累积量不得超过 20 公吨。所有流转须通过 DOE 电子联单(e-Consignment)系统,交由持有相应 DOE 指定处理设施(Prescribed Premises)牌照的承运商及处置场处理。

废物代码废物类型法定管理要求
SW 206废无机酸(如蚀刻与清洗产生的氢氟酸、硫酸、硝酸)防腐储存、二次防泄漏、电子联单申报、持牌处置
SW 207含氟污泥(来自含氟废水的 IETS 中和处理)限期储存、防渗漏库房、持牌回收或安全处置
SW 204含一种或多种金属的污泥(如铬、铜、镍、锌)贴标、限期储存、电子联单、持牌金属回收

《2005 年环境质量(特种废物)规例》[P.U.(A) 294/2005] 第一附表。

电力需求与国家能源公司(TNB)供电准入

晶圆制造与封装属于超大型电力负荷项目,依《1990 年电力供应法》(Act 447),由注册专业工程师(PE)签署的单线图(SLD)须提交能源委员会(Suruhanjaya Tenaga,ST)审核。根据 TNB 电力供应申请手册(ESAH),高负荷项目须接入高压配电网络——柔佛是马来西亚少数提供 22kV 配送的州属。高科技制造商在进驻 JS-SEZ 时,亦可透过 Invest Malaysia Facilitation Centre–Johor(IMFC-J)快速通道,在非敏感行业下其制造许可证审批最快可缩短至 7 个工作天。

MD 范围变电站与地段要求电能质量指标
1000 至 10,000 kVA经 TNB 22kV 网络供电;须在厂区内预留 22kV 开关站(SSU)地段11–22kV 系统下总电压谐波畸变率(THDV)须低于 4%
5000 至 25,000 kVA须预留主要配电站(PPU)建设地段;室内型 PPU 占地较大负序电压不平衡度在任何 1 分钟内不得超过 2%

TNB 电力供应申请手册(ESAH);《1990 年电力供应法》(Act 447)。

常见问题

半导体晶圆厂在柔佛需要做 EIA 吗?

需要。晶圆厂、大规模先进封装与高精密基板厂通常属于《2015 年 EIA 命令》的第二附表项目。详尽的 EIA 报告须呈交 DOE 总部进行专家委员会审查,并进行为期 30 天的公众展示,须在获得书面 EIA 批准后方可动工。

半导体厂的主要排污限值是多少?

招牌参数为氟化物(2.0/5.0)、镍(0.20/1.0)、三价铬(0.20/1.0)与 COD(80/200)mg/L(标准 A / B),依第五附表。当两种或以上所列金属并存时,规例第 11 条另对其总浓度设限。

半导体制造适用哪些特种废物代码?

废蚀刻与清洗酸属 SW 206(废无机酸);氟化物中和产生的污泥属 SW 207(含氟污泥);含金属的 IETS 污泥属 SW 204。所有流转须通过 DOE 电子联单系统申报,交持牌设施处理。

为何 22kV 供电对柔佛的半导体选址很关键?

晶圆厂与封装厂属超大型负荷,MD 在 1000–10,000 kVA 经 TNB 22kV 网络供电——柔佛是少数提供 22kV 配送的州属——而 5000–25,000 kVA 须建主要配电站(PPU)。单线图须由注册 PE 签署,并依《1990 年电力供应法》(Act 447)提交能源委员会(ST)。

法规依据

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本文出处

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撰稿专家:Grace Yan — 工业地产专家 SPECIALIST(REN 18395)。 WhatsApp / 电话 +60 16-746 9998 · 微信 IndLand_GraceYan

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Grace Yan

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